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製品案内

製品案内の仕様は、一例です。ご要望の仕様に合わせてご提案致します。

電子分野(1)

WB式焼成炉

特徴

  • 搬送方式をWB(ウォーキングビーム)式にすることにより消費電力の低減に成功(メッシュベルトと比較して)
  • タクトタイムをMAX5secで運転可能
  • 昇温、降温レートの時間短縮
  • 炉体上下2分割でメンテナンス性の向上

標準仕様

処理目的 太陽電池用ウェハの焼成
温度 常用900℃、最高1000℃
雰囲気 クリーンエアー
搬送速度 標準6sec/タクト、可変5~10sec/タクト

参考図

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