開発／構造設計
構造設計
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W/B搬送
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W/B搬送 映像がご覧いただけます。
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ウェハー4枚同時搬送
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全自動操作パネル
開発
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熱流体解析業務中
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熱流体解析結果検討中
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ファン噴出
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RHZ部流れ
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熱流体解析モデル
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