特徴

• 搬送方式をWB（ウォーキングビーム）式にすることにより消費電力の低減に成功（メッシュベルトと比較して）
• タクトタイムをMAX5secで運転可能
• 昇温、降温レートの時間短縮
• 炉体上下2分割でメンテナンス性の向上

標準仕様

処理目的	太陽電池用ウェハの焼成
温度	常用900℃、最高1000℃
雰囲気	クリーンエアー
搬送速度	標準6sec/タクト、可変5～10sec/タクト

参考図